品名

铝钪合金靶材

化学式

AlSc

纯度

≥99.99%(4N)

成分

Al-Sc 0-45 at％

尺寸

OD50.8mm-OD350mm

密度

≥98.5%理论密度

[O]含量

≤500 ppm

应用

科学实验或研究方面应用，微纳加工，器件制作等相关定 制产品广泛用于半导体芯片、太阳能光伏、平面显示、特 种涂层等

包装方式

内部真空袋真空包装，外部为定制产品靶材盒，纸箱快递 运输

储存方法

收到产品后，需储存于干燥环境，密封包装，轻拿轻放， 防压防撞