检测原理
将具有平整表面的被测样品作为辉光放电的阴极，样品在直流或射频或脉冲辉光放电装置中产生阴极溅射，被溅射的样品原子离开样品表面扩散到等离子体中，通过各元素质荷比和响应信号的强弱，对被分析元素进行定性和定量分析的一种分析方法
检测项目
• 用于高纯、超高纯无机固体材料杂质成分分析，是目前精确度最高的材料杂质检测设备。
• 采用液氮制冷系统，可直接分析Ga、In等低熔点金属。
检测范围
• 用于高纯、超高纯无机固体材料杂质成分分析，是目前精确度最高的材料杂质检测设备之一
• 采用固体直接取样，避免了溶解样品引入污染
• 采用液氮制冷系统，可直接分析 Ga、In等低熔点金属
• 超高分辨率可调节至 10000，能实现全元素检测，部分超高纯样品 CNO的侦测极限低于 0.1ppm