检测原理
待测物质以气溶胶或气体形式进入高频电场，在快速变化的电场作用下形成离子，取样锥和截取锥内负气压将所形成的离子吸入到一个真空室，离子在水平电场作用下进入垂直方向的四级杆电场，在垂直变化的电场作用下，各种离子按其质荷比被分离出来，进入检测器被计数，根据计数结果可计算出被测样品的浓度。
检测项目
样品用酸（或碱）溶解，定容稀释后上机检测。用于高纯材料杂质成分分析，是目前公司4.5N以上产品检测检测设备。
检测范围
0.01 ppb-10ppm
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待测物质以气溶胶或气体形式进入高频电场，在快速变化的电场作用下形成离子，取样锥和截取锥内负气压将所形成的离子吸入到一个真空室，离子在水平电场作用下进入垂直方向的四级杆电场，在垂直变化的电场作用下，各种离子按其质荷比被分离出来，进入检测器被计数，根据计数结果可计算出被测样品的浓度。
样品用酸（或碱）溶解，定容稀释后上机检测。用于高纯材料杂质成分分析，是目前公司4.5N以上产品检测检测设备。
0.01 ppb-10ppm