检测原理
1. X射线光电子能谱（XPS）可测试全谱、精细谱、俄歇谱、价带谱，也可刻蚀后采谱得到深层的信息；
2. X射线光电子能谱（XPS）按元素个数收费（需要包含必测元素C，不能测试H、He元素）；一个元素默认测一个轨道，若测试多个轨道计为多个元素；一个样品默认一个测试位置，若测试多个位置计为多个位置；
3. XPS定量为半定量数据。原子百分含量小于5%的元素可能测不出明显信号；
4. 测试默认单色化Al靶（Al Kα source），能量1486.68eV；
检测项目
元素组成与定量分析
化学态与电子结构分析
深度与空间分布分析